本文研究了氮化镓(GaN)和聚苯胺(PANI)复合材料在室温下对氨气(NH3)的气敏特性。以氧化镓(Ga2O3)为镓源，采用原位氮化法制备了GaN微米结构，将GaN和苯胺单体预复合后，通过原位聚合法制备了GaN/PANI气敏传感器并对样品进行了一系列表征，结果表明GaN与PANI成功复合，GaN微米结构表面与网状PANI结合，从而为气体吸附提供了更多表面位点。测试并对比纯GaN和GaN/PANI复合材料的气敏特性，在室温低湿度条件下，GaN/PANI气敏传感器对100 ppm浓度的NH3响应度可达80.73%，是相同浓度的NH3下纯GaN的1.7倍；另外，纯GaN的检测下限为1 ppm，而GaN/PANI复合气敏传感器的检测下限可达到1 ppb。进一步分析了GaN/PANI气敏传感器的传感机理，丰富的复合材料界面显著提升了GaN/PANI传感器的气敏性能。GaN/PANI气敏传感器设计为室温下检测NH3提供了可靠方案。

1 实验部分
1.1 实验所用材料
1.2 复合材料的制备
1.2.1 GaN制备流程
1.2.2 复合材料的制备
1.3 气敏材料的测试与表征
2 结果与讨论
2.1 XRD结果分析
2.2 XPS分析
2.3 形貌分析
2.4 气敏特性分析
2.5 气敏传感机理分析
3 结论