为推动废水处理行业的绿色低碳转型，精确核算废水处理工艺的碳排放至关重要，其中电力消耗是主要的碳排放源。采用国际气候变化专门委员会推荐的排放因子法，对典型芯片废水处理工艺的碳排放进行了核算，并探讨了不同处理阶段的碳排放组成及其决定因素。结果表明，芯片废水处理工艺的碳排放量普遍高于城镇废水处理工艺。7种典型芯片废水处理工艺A～G的碳排放强度分别为2.20、2.32、2.85、2.58、2.72、3.69、2.39 kg CO2e/m3。其中，在碳排放强度差异较小的情况下，G工艺的碳排放量最低，仅为1.2×104 kg CO2e/d，直接甲烷、氧化亚氮、间接电耗和药耗排放量分别为3 309.3、 2 893.8、3 733.4和2 520.7 kg CO2e/d，间接电耗占比最高，达30%。相比之下，G工艺平均减排10%，最高达35%。以广东省某电子工业企业5 200 m3/d芯片废水处理工程为例，G工艺旨在有效应对氟化物及有机碳/氮处理挑战及碳排放控制问题，确保出水水质符合《地表水环境质量标准》（GB 3838—2002）Ⅲ类标准。此外，A、G工艺单位用地碳排放强度分别为0.71、1.93 kg CO2e/m2,G工艺土地利用率和污水处理效率高。通过深入探究与分析后得出的结果，应用新的能源利用模式和工艺优化方法，在处理芯片废水的过程中，能够显著减少能源消耗，从而降低碳排放，有助于推动该行业朝着更加绿色、可持续的方向发展。

梁杏媚,刘可,蔡振山,等.半导体芯片废水高标准处理工艺碳排放与效能特征[J/OL].能源环境保护,1-9[2025-01-13].https://doi.org/10.20078/j.eep.20250105.