Al2O3陶瓷表面二元离子复合渗镀Ni-Ti合金化研究

Al₂O₃陶瓷表面二元离子复合渗镀Ni-Ti合金化研究

作者

崔泽琴王文先张红霞张俊旺
单位

太原理工大学材料学院太原理工大学材料学院山西太原030024
摘要

运用多元离子复合渗镀合金的方法,采用自制的二元复合靶对Al2O3陶瓷表面进行Ni-Ti复合渗镀,实现了Al2O3陶瓷表面的合金化。采用EDS,SEM,XRD分析方法和声发射划痕试验对Al2O3陶瓷表面的沉积层进行了分析,研究了沉积层成分、物相以及界面结合强度。结果表明,沉积层中含有镍、钛、铁等元素,各元素分布较为均匀,没有明显的成分聚集现象;沉积层由镍钛的氧化物Ni[TiO3]、镍钛化合物Ni4Ti3、镍单相组成。沉积层与Al2O3陶瓷基体界面成分过渡连续,没有显著的微观和宏观缺陷;声发射划痕实验结果表明,沉积层与陶瓷基体结合得较好,在100N的最大载荷下,沉积层没有出现剥离和崩落现象。这一方法为Al2O3陶瓷表面合金化提供了新的途径。
关键词

二元复合靶Al2O3陶瓷表面合金化Ni-Ti复合渗镀
基金项目(Foundation)

山西省自然科学基金资助项目(20041052)；