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微型机械电子系统的研究动态
  • 133
  • 作者

    龚晓燕

  • 单位

    西安科技学院陕西西安710054

  • 摘要
    阐述微型机械电子系统的概念与内涵 ,详细地分析了微型机械电子系统的研究方向和发展趋势 ,为今后深入研究该领域的课题提供了依据。
  • 关键词

    微型机械电子系统μm/nm技术微结构微细加工

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