传输矩阵法研究薄膜体声波谐振器_中国煤炭行业知识服务平台

传输矩阵法研究薄膜体声波谐振器

作者

张涛马宏伟郭长立张永元杨华平
单位

西安科技大学理学院西安科技大学机械工程学院
摘要

薄膜体声波谐振器(FBAR)以其工作频率高、体积小、便于集成和低插损等优良特性而得到广泛应用,对薄膜体声波器件理论设计与优化的研究成为研究热点。本文引入传输矩阵法研究薄膜体声波谐振器,利用该方法推导薄膜体声波谐振器的输入阻抗公式,并利用该公式研究了A l/A lN/A l结构的FBAR的谐振频率、有效机电耦合系数和谐振品质因数。结果证明,该阻抗公式可有效的用来设计或评价FBAR的谐振频率、有效机电耦合系数和谐振品质因数等重要参数。
关键词

传输矩阵 FBAR 阻抗谐振频率谐振品质因数
基金项目(Foundation)

国家自然科学基金资助项目(50674075,10774074)；陕西省自然科学基金资助项目(2009JQ1005)；
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