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金属层厚度对金属/聚合物双层膜结构脱模过程的影响
  • 145
  • 作者

    郑旭王清孟丽华张睿张星远

  • 单位

    山东科技大学土木工程与建筑学院山东科技大学电子通信与物理学院

  • 摘要
    在使用直接压印法制备金属/聚合物双层膜结构纳米图案时,脱模过程分析对双层膜结构的无缺陷成型具有至关重要的作用。采用有限元模拟的方法,通过改变金属层的厚度探讨在脱模过程中对金属层应力和变形的影响。根据数值模拟结果绘制出金属层在脱模过程中最大应力和变形量随金属层厚度的变化曲线。通过对变化曲线的分析,发现金属层上中部的最大应力值以及弯曲变形量随着金属层厚度的增加而减小,并且金属层厚度为50nm时具有最佳的脱模效果,更适用于金属/聚合物双层膜结构的脱模过程。
  • 关键词

    直接压印双层膜结构有限元法应力变形

  • 基金项目(Foundation)
    山东省“泰山学者”建设工程专项资金资助项目(TSHW20130956)；
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