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热压印聚合物成型体脱模过程中接触脱离分析
  • 173
  • 作者

    王清张睿张金涛郑旭马立俊

  • 单位

    山东科技大学土木工程与建筑学院

  • 摘要
    热压印光刻技术中,聚合物成型体在脱模阶段的变形破损关系到压印质量的高低。为了提高热压印质量,研究脱模过程中模板和聚合物成型体之间的接触力变化至关重要。采用理论分析、模型试验和有限元法数值模拟分析热压印脱模中的接触脱离过程,得到不同脱模位移的等效应力云图和脱模接触力变化曲线。结果显示:脱模过程中聚合物微结构的根部和顶部边缘有应力集中和变形现象,通过计算聚合物根部节点和顶部节点的接触力大小,得出接触力峰值是聚合物出现应力集中和变形的原因。实际脱模操作时应加强对聚合物成型体根部和顶部边缘的保护,通过增涂低表面能的抗粘剂降低模板和聚合物成型体间的脱模接触力,达到减少压印缺陷、提高压印质量的目的。
  • 关键词

    聚合物热压印脱模应力脱模接触力有限元法

  • 基金项目(Foundation)
    山东省“泰山学者”建设工程专项资金项目(TSHW20130956)；
  • 相关文章

    [1]纳米压印技术脱模过程机理分析

    [2]热压印脱模工艺中摩擦系数影响的研究

    [3]金属层厚度对金属/聚合物双层膜结构脱模过程的影响

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