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基于微环谐振器的甲烷传感器
  • 639
  • 187
  • 作者

    王文清王晓璐田子建

  • 单位

    北京市煤炭矿用机电设备技术开发有限公司中国矿业大学（北京）机电与信息工程学院

  • 摘要
    提出了一种新型的基于微环谐振器的甲烷传感器。该传感器通过微环表层的穴番A涂层来增加微环的有效折射率,使微环谐振器中谐振波长随甲烷浓度的增加而向右漂移;通过测量输出光信号的谐振波长推算出甲烷浓度。理论分析结果表明,该传感器的谐振波长变化范围在一个自由光谱范围内,甲烷浓度测量范围为0~15%;对比SOI材料和聚合物材料、单面敏感膜和三面敏感膜的测量结果,得出聚合物材料三面敏感膜微环的谐振波长变化幅度较大,测量灵敏度为60pm。
  • 关键词

    甲烷传感器甲烷浓度测量微环谐振器敏感膜

  • 基金项目(Foundation)
    国家自然科学基金资助项目(U1261125)；北京市教育委员会创新团队建设提升计划资助项目(IDHT20130511)；
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