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主办单位:煤炭科学研究总院有限公司、中国煤炭学会学术期刊工作委员会
基于MEMS技术的载体催化甲烷检测元件制作方法
  • 作者

    孙世岭

  • 单位

    中煤科工集团重庆研究院有限公司

  • 摘要
    在分析载体催化甲烷检测原理的基础上,提出采用先进的微机电系统(Microelectro Mechanical System,MEMS)技术对传统载体催化甲烷检测元件的制作方法进行改进,给出了具体的元件制作流程,并对元件的性能进行了测试。测试结果表明,基于MEMS技术的载体催化甲烷检测元件较传统载体催化甲烷检测元件在功耗、抗中毒、一致性等方面有明显改善。
  • 关键词

    甲烷检测载体催化检测微机电系统MEMS

  • 基金项目(Foundation)
    重庆市煤监局煤炭发展专项资金资助项目(渝煤〔2014〕-kj-09);中国煤炭科工集团有限公司科技创新基金面上项目(2014MS025);
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